熒光法溶解氧測量儀基于熒光猝熄原理。藍光照射到熒光物質上使熒光物質激發并發出紅光，由于氧分子可以帶走能量(猝熄效應)，所以激發的紅光的時間和強度與氧分子的濃度成反比。通過測量激發紅光與參比光的相位差，并與內部標定值對比，從而可計算出氧分子的濃度。
在過去的50多年里，一直采用電流法和極譜法測量溶解氧。這種方法對于市政和工業廢水中的溶解氧監測曾起著非常重要的作用，但是，傳統的電化學方法的使用膜、電極和電解液，從而會導致很多問題，即使進行定期維護，還是不能得到準確的測量結果。
創新的新型熒光技術，沒有膜和電解液，幾乎不用維護，性能優異，使用方便。熒光法溶解氧儀，早是由國外研發出來，并投入使用的，中國在90年代由國家支持，屬于國家九五重點課題，經過十多年的研究生產技術已經趨于成熟。
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